УСТРОЙСТВО ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ПОЛИМЕРОВ В ВАКУУМЕ

Назначение

Тонкие полимерные пленки микронных и субмикронных толщин представляют большой интерес для современных технологий приборостроения, электротехники, точной механики и других отраслей промышленности. Это вызвано благоприятным, подчас уникальным сочетанием свойств в полимерных материалах: высокой химической стойкости, хороших диэлектрических характеристик, гидрофобности, низкого коэффициента трения, эластичности и ряда других показателей. Устройство электронно-лучевого диспергирования предназначено для формирования полимерных покрытий в вакууме.

Описание и технические характеристики

Конструктивно устройство электронно-лучевого диспергирования состоит из: − блока питания; − электронно-лучевого прожектора. Электронно-лучевой прожектор и блок питания позволяют формировать поток электронов с энергией и плотностью тока, достаточной для перевода материала мишени в активную газовою фазу.

Блок питания

Блок питания (БП) устройства электронно-лучевого диспергирования используется для подачи ускоряющего напряжения и тока накала в электроннолучевой испаритель (ЭЛИ) вакуумной установки. ЭЛИ совместно с БП используется для испарения в вакууме технологических материалов с последующим осаждением на детали. В комплект входит силовой блок и комплект соединительных кабелей.

Электронно-лучевой прожектор

Электронно-лучевой прожектор с катодом прямого накала, позволяет формировать пучки электронов с плотностью тока I = 50÷500 А/м2, энергией частиц E = 0,1÷2,5 кэВ, площадью пятна S = (1÷5)•10-4 м2. Диапазон энергии электронов Е = 0,8…2,0 кэВ, использующийся при диспергировании органических и неорганических соединений, является оптимальным. Управление прибором также осуществляется через элементы управления расположенные на передней консоли прибора.

Предлагается:
изготовление и поставка оборудования, техническое (гарантийное) обслуживание.


РОГАЧЁВ АЛЕКСАНДР ВЛАДИМИРОВИЧ,
ДИРЕКТОР ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКОГО НАУЧНО- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОГО ИНСТИТУТА,
ЧЛЕН-КОРРЕСПОНДЕНТ НАН БЕЛАРУСИ, ДОКТОР ХИМИЧЕСКИХ НАУК, ПРОФЕССОР,
тел. (+375 232) 50 38 03, факс (+375 232) 51 00 77,
e-mail: rogachevav@mail.ru,
http://nis.gsu.by


QR-код на эту страницу

 

 

 

 

 

English version