ПОЛИРУЮЩИЕ СУСПЕНЗИИ ДЛЯ ПЕРВОЙ И ВТОРОЙ СТАДИИ ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИ ПЛАСТИН МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
Представляют собой ультрадисперсные стабилизированные коллоидные системы на основе пирогенного диоксида кремния.
Описание предложения
Предлагаются полирующие суспензии для первой и второй стадий химико-механической полировки кремниевых пластин различной ориентации, а также других применений.
Технические и экономические свойства продукции
- Полирующие суспензии обеспечивают: высокую чистоту поверхности после полировки, малую величину возникающего статического электричества на полировальнике, высокую производительность, лёгкость использования, высокую стабильность и минимальное загрязнение ионами металлов;
- Эффективность химико-механической полировки пластин моно-кристаллического кремния заключается в получении зеркальной, гладкой, ровной поверхности с нанометровой (субнанометровой) шероховатостью при достаточно высокой скорости съёма материала;
- Суспензии на основе пирогенного диоксида кремния содержат частицы минимально возможных размеров для обеспечения однородности геометрических и структурных свойств полируемых поверхностей;
- Суспензии являются однородными по фазовому и элементному составу, высокостабильными, простыми в приготовлении и использовании, дешевыми и экологически безопасными.
ГАЙШУН ВЛАДИМИР ЕВГЕНЬЕВИЧ
ЗАВЕДУЮЩИЙ ПРОБЛЕМНОЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОЙ ЛАБОРАТОРИЕЙ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МАТЕРИАЛОВ
КАНДИДАТ ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИХ НАУК, ДОЦЕНТ
ТЕЛ. +(375 232) 50-38-22, ФАКС +(375 232) 50-38-13
E-MAIL: VGAISHUN@GSU.BY, http://pnil.gsu.by
QR-код на эту страницу:
